专业的气候测试设备制造
无氧烘箱解决芯片封闭、产品固化、表面热处理的氧化
概述:
NLWYGH-L系列无氧烘箱箱体的尺寸大小可以用户需求进行设计生产,应用于半导体、芯片、固化封闭、金属表面处理等高端科研、制造行业。通过抽空、充注惰性气体进行工艺预处理。
NLWYG-L无氧烘箱选型表
常规型号
NLYW-G-H
234L
392L
576L
810L
1ML
内部尺寸
深mm
600
700
800
900
1000
宽mm
650
高mm
外部尺寸
850
1300
1400
1500
1600
950
1100
1200
1550
性能指标
温度范围
RT+10~200/300/400/500/600/700/800℃
温度指标
波动度≤±0.5℃,温度均匀度≤±2.5%
升温时间
RT~600℃≤90min
抽空极限
≤-133Pa/-50Pa/-10pa
补气方式
惰性气体/特殊气体 (用户自备气体)
抽补控制
自动控制(先抽到设定真空度再充入惰性气体)
结构材质
外壳材质
冷轧钢板静电喷粉(白色)
内胆材质
不锈钢板(内承压方式)
保温材质
超细玻璃纤维
控制系统
加热方式
合金电加热器
内部循环
磁流体/长轴电机传动箱内风叶进行强制鼓风循环
冷却方式
停止加热自然冷却方式
测试孔
≥10芯法兰接口
数据储存与扩展接口
可选SD卡、RS485、USB
装机功率
Kw
8
13
16
25
35
电源要求
220380V±10%,50HZ±1,三相四线+接地线,保护接地电阻<4Ω
环境条件
使用条件
5~40℃、相对湿度≤85%R.H时,可满足全部指标
满足标准
GB、GJB
声明:
1. 除以上所列规格外,可根据用户要求进行非标准产品设计、制造。
2. 因产品更新导致的参数、外观更改,恕不另行通知。